Система нанесения покрытия методом испарения в высоком вакууме с четырьмя источниками 1800c для нанесения металлической пленки

Базовая информация

Модель №.	CY-EVP325S-4S-T
Состояние	Ной
источник испарения	Вольфрамбут X2
Размер камеры	Является. 300мм*400мм
Материал камеры	нержавеющая сталь 304
Форвакуумный насос	Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
Вторичный насос	Турбомолекулярный насос
Предельный вакуум	1,0е-5ПА
Напряжение питания	380 В переменного тока, 50 Гц
Суммарная мощность	5 кВт
Транспортный пакет	Деревянная коробка снаружи, пластиковая бумага внутри.
Спецификация	Индивидуальные
товарный знак	ЦИКИ
Источник	Чжэнчжоу, Китай
HS-код	8402111000
Производственная мощность	100 штук/месяц

Описание продукта

1800C Четырехисточниковая машина для нанесения покрытий методом испарения в высоком вакууме для нанесения металлических пленок
Внедрение установки для нанесения покрытий с высоким вакуумом и четырьмя источниками:
Это устройство представляет собой установку для нанесения покрытий из паровой фазы в высоком вакууме с четырьмя источниками. Устройство имеет вакуумную камеру с открывающейся вперед дверцей. Кроме того, камера увеличена до 500 мм. Расстояние между столом для проб и источником испарения имеет более широкий диапазон регулировки, который можно адаптировать к различным требованиям к испарению. Это предотвращает повреждение образца из-за высокой температуры источника испарения.
Камера имеет верхний предметный столик, который можно вращать, нагревать и поднимать, а все операции можно интегрировать и контролировать с помощью сенсорного экрана. Вакуумная система оборудования представляет собой двухступенчатую вакуумную систему, состоящую из двухступенчатого пластинчато-роторного насоса и турбомолекулярного насоса, которая может обеспечить чистую и безмасляную среду высокого вакуума. Устройство оснащено пневматической клапанной системой. Автоматическое управление операционной системой позволяет пользователю выполнять такие операции, как вакуумная откачка одной кнопкой, непрерывное извлечение и размещение проб, а также полное выключение через сенсорный экран.
Оборудование оснащено четырьмя комплектами вольфрамовых лодочных источников испарения и медным электродом с водяным охлаждением. Каждый источник испарения поддерживает большой ток 100 А и температуру нагрева 1800°C. Он может реализовать многослойное покрытие или смешанное покрытие из нескольких материалов.

Технические параметры установки для нанесения покрытий с четырьмя источниками высокого вакуума:

Система нанесения покрытия в высоком вакууме с четырьмя источниками
Репетиционный этап	Размер	Максимальная поддержка образцов диаметром 150 мм.	Высота	140 мм регулируется вверх и вниз
источник испарения	Толпа	Вольфрамовая лодочка x4
вакуумная камера	Размер камеры	Ø325мм х 510мм	смотровое окно	Передняя часть φ100 мм с солнцезащитной пластиной
	Материал камеры	нержавеющая сталь 304	Открытый метод	Открытие входной двери
Контроль толщины пленки	Измеритель толщины пленки с кварцевым генератором, дополнительный многоканальный контроллер толщины пленки
Вакуумная система	Ворвакуумный насос	Двухступенчатый пластинчато-роторный насос	Насосный порт	КФ16
	Вторичный насос	Турбомолекулярный насос	Насосный порт	CF160
	Измерение вакуума	Сопротивление + ионизация Композитный вакуумметр	скорость выхлопа	Механический насос 1,1 л/с
	Предельный вакуум	1,0Е-5Па	Источник питания